技术特点：                               
1、自动化：实现分片自动化、传动自动化、入蓝自动化、取卸蓝自动化、移栽自动化、清洗自动化；
2、高效性：双头分片，双分片位同时工作，对应双条清洗线；
3、易操作：设备简单易学，一人同时操作两条清洗线；
4、追溯性：双工作位操作，单独清洗，可做到硅片单锭追踪；
5、稳定性：主要元器件采用进口原件，稳定、耐用；

技术规格：