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| 试用范围 | 半导体晶圆，太阳能硅片、蓝宝石晶片 | 电源 | AC220V±15% 50/60Hz |
| 试用厚度（μm） | ≥180μm | 功率（Kw） | 3KW |
| 气压（MPa） | ≥0.4MPa | ||
| 片盒种类 | 25片、50片、100片 | 耗气量 | 150L/min |
| 效率（P/h） | 2500 | 用气规格 | 洁净干燥气体 |
| 破损率 | ≤0.15% | 尺寸（mm） | 1200X950X1000 |
| 检测范围 | ≥8mm | 重量（Kg） |
约200KG |
